ElScaDis

Eliminacja zakłóceń skanowania w aparaturze technologiczno-badawczej wykorzystującej wiązkę elektronową

lub jonową

 

Projekt finansowany przez Narodowe Centrum Badań i Rozwoju

w ramach programu LIDER

 

 

748 878 PLN

 

Kierownik projektu: dr inż. Mariusz Płuska

O projekcie

W urządzeniach badawczych i technologicznych takich jak  SEM,STEM czy FIB nawet niewielkie zmienne pole magnetyczne rzędu nT lub drgania akustyczne mogą zakłócać bieg wiązki skanującej o kilkadziesiąt nanometrów. Jest to porównywalne z całkowitymi wymiarami nowoczesnych struktur elektronicznych.

Celem projektu jest opracowanie i implementacja skutecznych metod redukcji zakłóceń polegających raczej na uwzględnianiu wpływu zakłóceń na pracę ww. urządzeń niż na usuwaniu przyczyn zakłóceń. W rezultacie powstanie oprogramowanie komputerowe sterujące pracą urządzeń FIB, STEM, SEM w taki sposób aby badania lub procesy technologiczne prowadzone były w korzystnych warunkach i z uwzględnieniem wpływu zakłóceń.

 
 

Używamy cookies i podobnych technologii m.in. w celu świadczenia usług i w celach statystycznych. Możesz określić warunki przechowywania lub dostępu do plików cookies w Twojej przeglądarce, w jej ustawieniach. Jeżeli wyrażasz zgodę na zapisywanie informacji zawartej w cookies, kliknij „Zamknij”. Jeżeli nie wyrażasz zgody – zmień ustawienia swojej przeglądarki. Więcej informacji znajdziesz w naszej Polityce cookies

Zamknij X