ElScaDis
Eliminacja zakłóceń skanowania w aparaturze technologiczno-badawczej wykorzystującej wiązkę elektronową
lub jonową
Projekt finansowany przez Narodowe Centrum Badań i Rozwoju
w ramach programu LIDER
748 878 PLN
Kierownik projektu: dr inż. Mariusz Płuska
O projekcie
W urządzeniach badawczych i technologicznych takich jak SEM,STEM czy FIB nawet niewielkie zmienne pole magnetyczne rzędu nT lub drgania akustyczne mogą zakłócać bieg wiązki skanującej o kilkadziesiąt nanometrów. Jest to porównywalne z całkowitymi wymiarami nowoczesnych struktur elektronicznych.
Celem projektu jest opracowanie i implementacja skutecznych metod redukcji zakłóceń polegających raczej na uwzględnianiu wpływu zakłóceń na pracę ww. urządzeń niż na usuwaniu przyczyn zakłóceń. W rezultacie powstanie oprogramowanie komputerowe sterujące pracą urządzeń FIB, STEM, SEM w taki sposób aby badania lub procesy technologiczne prowadzone były w korzystnych warunkach i z uwzględnieniem wpływu zakłóceń.